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MicroSense位移傳感器簡介

更新時間:2023-04-12  |  點擊率:969

一、 優勢簡介:

??MicroSense的高精度電容式位移傳在感器,除具有一般非接觸式儀器的共性外,還具有信噪比高、靈敏度高、零漂小、頻響寬、非線性小、精度穩定性好、抗電磁干擾能力強、使用方便等優點,在國內研究所、高等院校、企業得到廣泛應用,成為科研、教學和生產中一種非常重要的測試儀器。

??二、 特點:

??1、可實現近距離、高精度、非接觸式位置測量

??2、分辨率可達亞納米級直至皮納米級,在所有商用電容傳感器品牌中,噪音ZUI低

??3、提供多種型號的探頭,以滿足高穩定性、線性或高測量帶寬等不同需求

??4、可選擇單一通道或多通道(3U歐洲卡機架安裝標準)

??三、 型號簡介:

??1、被動式電容位移傳感器,代表型號:48XX 系列,88XX系列,Mini系列

??被動式電容傳感器基于追求最佳的線性和穩定性而設計,測量帶寬達20千赫,專用于伺服系統運動行程反饋,尤其是高精密機床的系統伺服運動行程反饋。

??2、主動式電容位移傳感器,代表型號:58XX系列,68XX系列

??主動式電容傳感器突破了納米分辨率壁壘,實現了亞納米分辨率與快速響應,測量帶寬高達100千赫。

??6810型號擅長高動態測量,即測量對象為高速旋轉或振蕩的物體,如精密硬盤驅動主軸電機、精密空氣軸承主軸、機械軸承機床主軸等。

?  主要應用的場合是,分辨率要求在1-2nm或更小的跳動測量,如軸向和徑向不重復的跳動,或者異步誤差運動(NRRO-non-repeatable run out or asychronous error motion)

??四、 性能:

??1、測量距離在± 5 um± 1 mm

??2、高測量帶寬(高頻率響應)可選范圍:1 kHz, 5 kHz, 20 kHz100 kHz

??3、適用于任何接地、導電的目標,材料或表面光潔度對精度無影響

??4、分辨率可實現亞納米級,由傳感器探頭尺寸、帶寬、測量距離共同決定

??5、線性度優于滿量程測量的0.025%,由傳感器探頭尺寸、帶寬、測量距離共同決定




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