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非接觸式電阻測試可保證被測試材料的實際薄膜電阻值偏差不超過 3%。以下圖表所展示的是根據 10 NIST、VLSI 和 MSA 標準測試的 Delcom 計量器。

薄膜電阻測試用戶可以直接在材料上繪制網格圖形，或者將材料放入一個塑料信封并在信封上繪制網格圖形。然后用戶根據這些網格線遞增材料。