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  • iFocus晶圓檢測(cè)系統(tǒng)

    iFocus是一款用于晶圓外觀(guān)缺陷檢測(cè)設(shè)備,利用STI的2D/3D視覺(jué)檢測(cè)系統(tǒng),采用雙2D Camera同時(shí)采集亮區(qū)和暗區(qū)照片分析特征缺陷;True 3D技術(shù),可以精確量測(cè)Bumping高度,Bumping共面性等特征。可適用于EWLB/CMOS/MEMS/LED/LENS/GLASS WAFER/GAS WAFER/COG等產(chǎn)品外觀(guān)檢測(cè)。

    更新時(shí)間:2024-11-09
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